激光干涉仪

激光干涉仪

雷尼绍公司的激光干涉仪和球杆仪测量系统用于评估、监控并提高机床、坐标测量机 (CMM) 及其他位置精度要求关键的运动系统的静态和动态性能

激光干涉仪采用安装在外部的光学镜组件实现高精度、可重复、可溯源的测量。

目前有两款雷尼绍激光干涉仪系统在全球广泛使用,一款是XL-80(自2007年开始生产),另一款是被其替代的ML10(1988年至2007年)。